清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺(tái)
儀器功能：可測(cè)量多晶硅/單晶硅絨面表面單層（二層或多層）減反射膜、和玻璃/有機(jī)基底上的薄膜太陽能電池。
技術(shù)指標(biāo)：光源：氙燈
光斑直徑：1-3mm
入射角范圍：20°到90°,5°/步
波長(zhǎng)范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
波長(zhǎng)精度：1nm
測(cè)量時(shí)間: < 8s （取決于測(cè)量模式和粗糙度）
樣品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm電池片, 其它尺寸
測(cè)量精度：0.02nm
折射率：0.0002, 100nmSiO2 on Si
厚度測(cè)量范圍：0.01nm ~ 50um
消光比：10-6
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